超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀ERUN-SZ系列

多參數(shù)水質(zhì)

產(chǎn)品描述

贏潤(rùn)集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀參照國(guó)際材料試驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》而設(shè)計(jì)，電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧含量，半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產(chǎn)、注射用水（WFI）和純化水（PW）系統(tǒng)以及鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)等行業(yè)領(lǐng)域。

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ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品產(chǎn)品概述

贏潤(rùn)集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀參照國(guó)際材料試驗(yàn)協(xié)會(huì)發(fā)布的《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》而設(shè)計(jì)，ERUN-SZ系列電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備能夠連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)超純水水質(zhì)的電阻率和溶解氧含量，ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀廣泛適用于晶圓清洗、光刻、CMP工藝、液晶面板、LED、集成電路生產(chǎn)、注射用水（WFI）和純化水（PW）系統(tǒng)以及鍋爐補(bǔ)給水系統(tǒng)等行業(yè)領(lǐng)域。

根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ??《ASTM D5127-13(2018) 電子和半導(dǎo)體行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)指南》??，超純水按用途與純度分為7個(gè)等級(jí)，每個(gè)等級(jí)對(duì)電阻率和溶解氧均有明確規(guī)定，例如：

類型	電阻率 (MΩ·cm @25℃)	溶解氧 (μg/L)
E-1	18.1	25
E-1.1	18.2	10
E-1.2	18.2	3
E-1.3	18.2	10
E-2	16.5	未要求
E-3	12	未要求
E-4	0.5	未要求

ERUN-SZ系列電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn)

一、超純水電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
★測(cè)量精度高??：采用先進(jìn)電極技術(shù)與信號(hào)處理算法，確保電阻率數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠；
??★實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)??：24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)水質(zhì)變化，及時(shí)預(yù)警潛在問(wèn)題；
??★數(shù)據(jù)遠(yuǎn)傳??：支持 ??4-20mA模擬信號(hào)?? 和 ??RS485 Modbus-RTU協(xié)議??，可與PLC、DCS及中央監(jiān)控系統(tǒng)無(wú)縫對(duì)接；
??★適應(yīng)性強(qiáng)??：設(shè)備防護(hù)等級(jí)達(dá) ??IP65??，適用于潔凈室、管道旁路、水箱等復(fù)雜安裝環(huán)境；
★??低功耗設(shè)計(jì)??：節(jié)能環(huán)保，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定，降低維護(hù)頻次。

二、超純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
★光學(xué)傳感技術(shù)??：采用先進(jìn)熒光猝滅原理，實(shí)現(xiàn) ??ppb（μg/L）級(jí)別?? 的溶解氧檢測(cè)；
★??高穩(wěn)定性與抗干擾??：不受氣泡、流速及水質(zhì)波動(dòng)影響，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確；
★??實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與報(bào)警??：支持在線實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)展示與異常報(bào)警，便于工藝人員快速響應(yīng)；
??★遠(yuǎn)程傳輸與智能管理??：同樣支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通訊協(xié)議，便于集成到智慧水系統(tǒng)中；
??★長(zhǎng)效耐用??：IP65防護(hù) + 低功耗設(shè)計(jì)，適合長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。

ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀技術(shù)參數(shù)

一、超純水電阻率在線監(jiān)測(cè)分析儀技術(shù)參數(shù)：

電阻測(cè)量范圍：	0.01 電極 50～20000kΩ·cm 0.1 電極 5～20000kΩ·cm 1.0 電極 0.5～20000kΩ·cm 10.0 電極 0.05～20000kΩ·cm（其他量程定做）
電導(dǎo)測(cè)量范圍：	0.01 電極 0～20.00μS·cm 0.1 電極 0～200.0 μS·cm-1 1.0 電極 0～2000 μS·cm-1 10.0 電極 0～20.00 mS·cm-1（其他量程定做）
TDS測(cè)量范圍：	0.01 電極 0~10 ppm 0.1 電極 0~100 ppm 1.0 電極 0~1000 ppm 10.0 電極 0-10000ppm （其他量程定做）
分辨率：	0.01kΩ·cm
精度：	±2.0 %(FS）
自動(dòng)溫度補(bǔ)償：	0~100℃溫補(bǔ)NTC 10K，以25℃為基準(zhǔn),溫補(bǔ)系數(shù)可修正

二、超純水溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀技術(shù)參數(shù)：

量程	0-20μg/L（ppb）
測(cè)量精度	±1％ F.S
重復(fù)性	±0.5％ F.S
分辨率	0.01μg/L
穩(wěn)定性	±0.5％ F.S/24h
工作溫度	0-50℃
溫度精度	±1℃
溫度重復(fù)性	±0.5℃
工作大氣壓力	40-115kPa
最大承受壓力	1000kPa
儲(chǔ)存溫度	-20-70℃

以上就是關(guān)于ERUN-SZ系列超純水電阻率溶解氧在線監(jiān)測(cè)分析儀的相關(guān)介紹，在追求極致純凈的半導(dǎo)體與電子制造領(lǐng)域，??超純水的電阻率和溶解氧必須控制在極低范圍內(nèi)??，選擇高性能電子行業(yè)用水水質(zhì)監(jiān)測(cè)設(shè)備，是確保生產(chǎn)工藝穩(wěn)定與產(chǎn)品品質(zhì)的核心環(huán)節(jié)。而贏潤(rùn)集團(tuán)研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-SZ系列半導(dǎo)體超純水電阻率溶解氧在線分析儀??，以高精度、智能化、穩(wěn)定可靠的特性，成為保障水質(zhì)安全、提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率的核心利器。

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